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PCB
APEX-A2061/A3061
ACP-630/630A
COF製造装置
VIT-P681
RMZ-342
検査機械
Zebra Qubic
XGT-5000WR
■露光機
APEX-A2061/A3061
ステップ&リピート拡大投影自動露光装置
項目
仕様
露光エリア
200×250mm
適用マスクサイズ
6インチ
露光方式
拡大投影式分割露光
ランプ
25mW以上
空圧源
0.5MPa
ACP-630/630A
自動露光装置
項目
仕様
ランプ数
2
露光光源
5kw超高圧水銀ランプ
露光方式
真空密着方式
光源冷却方式
空冷
空圧源
0.5MPa
■現像・エッチング
COF製造装置
項目
仕様
名称
COF製造装置
-
COF Manufacturing Machine
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非接触三次元検査装置
Zebra Qubic
項目
仕様
名称
非接触三次元検査装置
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XGT-5000WR
項目
仕様
X線管
最大50kV
蛍光X線検出器
高純度Si検出器
検出元素
Na〜U
エネルギーレンジ
0〜40keV
最大測定エリア
100mm×100mm
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