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NI MACHINERY:エヌ・アイマシナリー
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製品紹介
PCB
APEX-A2061/A3061 ACP-630/630A COF製造装置
VIT-P681 RMZ-342  
検査機械
Zebra Qubic XGT-5000WR  
 
■露光機
MILLAC-44V APEX-A2061/A3061
ステップ&リピート拡大投影自動露光装置
項目 仕様
露光エリア 200×250mm
適用マスクサイズ 6インチ
露光方式 拡大投影式分割露光
ランプ 25mW以上
空圧源 0.5MPa
MILLAC-525H ACP-630/630A
自動露光装置
項目 仕様
ランプ数 2
露光光源 5kw超高圧水銀ランプ
露光方式 真空密着方式
光源冷却方式 空冷
空圧源 0.5MPa
■現像・エッチング
MILLAC-561V COF製造装置
項目 仕様
名称 COF製造装置
- COF Manufacturing Machine
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操作フライス盤
MILLAC-550H 非接触三次元検査装置
Zebra Qubic
項目 仕様
名称 非接触三次元検査装置
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HJ-28 XGT-5000WR
項目 仕様
X線管 最大50kV
蛍光X線検出器 高純度Si検出器
検出元素 Na〜U
エネルギーレンジ 0〜40keV
最大測定エリア 100mm×100mm
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